濺鍍技術應用與薄膜性質分析
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- 資料識別：
- A09014118
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱軍浩(Chiu， Chun-hao) 董寰乾(Tung， Huan-chien)
- 主題與關鍵字：
- 濺鍍技術 薄膜 濺鍍靶材 Sputtering technology Thin film Sputtering target
- 描述：
- 來源期刊:技術與訓練
- 卷期:33:4=245 2008.12[民97.12]
- 頁次:頁145-155
- 日期：
- 20081200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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