超硬奈米複合鍍膜製程及設備發展趨勢與現況
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A09013883
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 卓廷彬 張凱傑 馬寧元 許恭銘 揚景富 謝志男 簡玉珠
- 主題與關鍵字：
- 超硬奈米複合鍍膜 晶界滑動 塑性變形 磁控濺鍍 磁控靶源 電漿輔助化學氣相沉積 Superhard nanocomposite coatings Grain boundary sliding Plastic distortion Magnetron sputtering Magnetron target Plasma enhanced chemical vapor deposition
- 描述：
- 來源期刊:臺灣奈米會刊
- 卷期:15 2008.12[民97.12]
- 頁次:頁57-66
- 日期：
- 20081200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
