接觸轉印與光罩植入式顯影技術與應用
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- 資料識別：
- A09013879
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱正宇 李永春
- 主題與關鍵字：
- 微影技術 奈米壓印 奈米結構 聚醯亞胺 表面聲波元件 Lithography Nanoimprinting Nanostructure Polyimide Surface acoustic wave device
- 描述：
- 來源期刊:臺灣奈米會刊
- 卷期:15 2008.12[民97.12]
- 頁次:頁22-30
- 日期：
- 20081200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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