半導體製程批次控制之進階研究--利用三階段指數平滑策略修正傳統批次控制法則
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- 資料識別：
- C04044551
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 范書愷
- 描述：
- 來源期刊:工程科技通訊
- 卷期:75 民93.08
- 頁次:頁171-174
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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