微機電系統中中央固定圓形與扇形微平板結構吸附現象研究

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資料識別：: C04044519
資料類型：: 期刊論文
著作者：: 林孟儒
描述：: 來源期刊:工程科技通訊; 卷期:75 民93.08; 頁次:頁26-29
來源：: 臺灣期刊論文索引系統
管理權：: 國家圖書館

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: 管理單位：知識服務組-期刊
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