Corrosion Investigation of Diamond Disk Conditioner in the Slurry of Chemical Mechanical Polishing
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- 資料識別：
- A07008110
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 譚安宏(Tan， A. H.) 鄭穎駿(Cheng， Y. C.) 李正國(Lee， C. K.) 周呈祥(Chou， Jacky) 宋健民(Sung， James C.)
- 主題與關鍵字：
- 腐蝕 化學機械拋光 鑽石修整器 Corrosion CMP Diamond disk conditioner
- 描述：
- 來源期刊:防蝕工程
- 卷期:20:2 民95.06
- 頁次:頁163-168
- 日期：
- 20060600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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