氣壓伺服低摩擦控制系統之設計、性能量測及奈米定位控制

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資料識別:
A07004838
資料類型:
期刊論文
著作者:
施明璋 白凱仁 蘇雅玲 許資永
主題與關鍵字:
奈米定位控制 空氣軸承 嵌入氣靜壓軸承 低摩擦氣壓缸 滑動平臺 精密定位控制
描述:
來源期刊:機械月刊
卷期:32:11=376 民95.11
頁次:頁18-28
日期:
20061100
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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