Deflection Analysis of Electrostatic Micro-actuators Using the Differential Quadrature Method
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- 資料識別：
- A07047502
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Hsu， Ming-hung
- 主題與關鍵字：
- Microelectromechanical system Pull-in Electrostatic DQM
- 描述：
- 來源期刊:Tamkang Journal of Science and Engineering
- 卷期:9:2 民95.06
- 頁次:頁97-106
- 日期：
- 20060600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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