45奈米以下的高介電係數閘極與金屬閘極CMOS元件
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- 資料識別：
- A07040424
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳建宏 洪彬舫 王水進 林哲緯 謝焸家 黃惠良 荊鳳德
- 主題與關鍵字：
- 高介電係數介電質 金屬閘極 奈米互補式金氧半電晶體 高低功函數
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:14:1 2007.04[民96.04]
- 頁次:頁29-34
- 日期：
- 20070400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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