Effects of Critical Width and Draft Angle on Nanoimprint Process Using Molecular Dynamics
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- 資料識別：
- A07036887
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許光城(Hsu， Quang-cherng) 吳政達(Wu， Chen-da) 方得華(Fang， Te-hua)
- 主題與關鍵字：
- Nanoimprint Molecular dynamics Nanotribology 奈米壓印製程 分子動力學
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:27:6 民95.12
- 頁次:頁851-858
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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