An Advanced Manufacturing Process Control System for PECVD Process Utilizing Fuzzy Logic Technique
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- 資料識別：
- A07036765
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳仁政(Chen， Jen-cheng) 章明(Chang， Ming) 賀嘉生(Heh， Jia-sheng)
- 主題與關鍵字：
- Advanced process control PECVD Expert system Neural network Fuzzy logic 模糊規則技術 電漿化學氣相沉積 製程控制
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:27:6 民95.12
- 頁次:頁633-638
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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