電漿技術應用於矽晶太陽能電池製程之簡介
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- 資料識別：
- A07032384
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉建惟
- 主題與關鍵字：
- 太陽能電池 電漿技術 電漿輔助化學氣相沈積 物理氣相沈積 Solar cell Plasma technology PECVD PVD
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:13:3=140 2007.03[民96.03]
- 頁次:頁173-180
- 日期：
- 20070300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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