Precision Measurement and Decoupled Control of a Planar Motion Stage
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- 資料識別：
- A07002038
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Dian， Song Yi Gao， Wei Horie， Katsutoshi Kiyono， Satoshi
- 主題與關鍵字：
- Precision measurement Decoupled control Interference error Planar motion stage Laser interferometer 面移動平臺 精密量測 解耦控制
- 描述：
- 來源期刊:中國機械工程學刊
- 卷期:27:5 民95.10
- 頁次:頁567-574
- 日期：
- 20061000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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