MEMS檢測工程
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- 資料識別：
- A07027905
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 友高正嗣
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 微影製程 MEMS Micro electro mechanical system
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:13:1=138 2007.01[民96.01]
- 頁次:頁230-234
- 貢獻者：
- 豐島源
- 日期：
- 20070100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
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