CMOS微型加速度計之設計、製造與測試
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- 資料識別：
- A07027895
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 孫志銘 王傳蔚 蔡明翰 方維倫
- 主題與關鍵字：
- 微型加速度計 CMOS晶片 微機電系統 CMOS MEMS
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:13:1=138 2007.01[民96.01]
- 頁次:頁109-122
- 日期：
- 20070100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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