Non-contact Mode SPM System Design with MEMS Microprobe

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資料識別:
A07020708
資料類型:
期刊論文
著作者:
Lin, Jium-ming Lin, Chun-chieh
主題與關鍵字:
Scanning probe microscope SPM Vibration mode Non-contact Laser doppler interferometer Surface profile
描述:
來源期刊:Chung Hua Journal of Science and Engineering
卷期:4:2 民95.06
頁次:頁117-123
日期:
20060600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

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管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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