Non-contact Mode SPM System Design with MEMS Microprobe
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- 資料識別：
- A07020708
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Lin， Jium-ming Lin， Chun-chieh
- 主題與關鍵字：
- Scanning probe microscope SPM Vibration mode Non-contact Laser doppler interferometer Surface profile
- 描述：
- 來源期刊:Chung Hua Journal of Science and Engineering
- 卷期:4:2 民95.06
- 頁次:頁117-123
- 日期：
- 20060600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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