積體化微結構製備技術之研究[國科會研究計畫編號：NSC-93-2212-E-006-027第二年成果報告]
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- 資料識別：
- A07020340
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 鍾震桂
- 主題與關鍵字：
- 積體化微結構製備技術 厚膜光阻 精密電鑄 犧牲層技術
- 描述：
- 來源期刊:工程科技通訊
- 卷期:88 民95.10
- 頁次:頁51-54
- 日期：
- 20061000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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