新一代連續式濺鍍設備內部迴流系統設計
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- 資料識別：
- A07019974
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 許耿禎
- 主題與關鍵字：
- 連續式濺鍍系統 內部迴流系統 潛入式 In-line sputtering system Internal recycle system Hidden type
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:287 2007.02[民96.02]
- 頁次:頁181-190
- 日期：
- 20070200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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