Growth of Ternary WC[9058]N□ Thin Films from a Single-source Precursor， W(N□Bu)₂ (NEt₂)₂
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- 資料識別：
- A07018733
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 莊琇惠(Chuang， Shiow-huey) 裘性天(Chiu， Hsin-tien) 周宜萱(Chou， Yi-hsuan) 陳秀帆(Chen， Shiou-fan)
- 主題與關鍵字：
- Tungsten nitride Tungsten carbonitride Chemical vapor deposition
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Chinese Chemical Society
- 卷期:53:6 民95.12
- 頁次:頁1391-1395
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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