SU-8光阻在矽晶圓基材上製作微流道面板之研究
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A07016707
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 莊勝雄(Chuang， Sheng-hsiung) 游士諄(Yu， Shih-chun) 林明俊(Lin， Ming-chung) 周祖亮(Chou， Tsu-liang)
- 主題與關鍵字：
- 微影 軟烤 曝光 曝後烤 顯影 硬烤 Photolithography Soft bake Exposure Post exposure bake Develop Hard bake
- 描述：
- 來源期刊:南亞學報
- 卷期:26 民95.12
- 頁次:頁23-36
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
