原子力顯微鏡之壓電驅動奈米定位技術
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- 資料識別：
- A07011608
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 顏木田 陳毅 朱怡銘
- 主題與關鍵字：
- 原子力顯微鏡 壓電致動器 磁滯效應 自調式適應控制 前饋控制 AFM Piezoceramic actuators Hysteresis Self-tuning regulator Feedforward control
- 描述：
- 來源期刊:臺灣奈米會刊
- 卷期:7 民95.12
- 頁次:頁62-71
- 日期：
- 20061200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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