MEMS元件基礎介紹
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- 資料識別：
- A07109940
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 藤田博之
- 主題與關鍵字：
- MEMS元件 微機電系統
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:13:9=146 2007.09[民96.09]
- 頁次:頁229-234
- 貢獻者：
- 謝佩娟
- 日期：
- 20070900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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