具有緩衝層之氮化矽覆蓋形變矽通道(Strained Si channel)互補式金氧半(CMOS)元件之特性影響與相關可靠度分析
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- 資料識別：
- A07109901
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 盧景森 林鴻志
- 主題與關鍵字：
- 局部形變 氮化矽覆蓋 緩衝層 熱載子可靠度測試 負偏壓溫度不穩定性
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:13:9=146 2007.09[民96.09]
- 頁次:頁152-161
- 日期：
- 20070900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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