Desing and Development of a Piezoelectric Actuator for the Scanning Probe Microscope Used in Ultrahigh Vacuum
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- 資料識別：
- A07099948
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- Huang， K.-Y Lee， C.-J.
- 主題與關鍵字：
- Scanning probe microscopy Ultrahigh vacuum Piezoelectric actuator Fine regulating mechanism
- 描述：
- 來源期刊:Journal of Mechanics
- 卷期:23:2 2007.06[民96.06]
- 頁次:頁117-126
- 日期：
- 20070600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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