可製造性設計應用參數的萃取--晶片導線特性可變異性研究
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- 資料識別：
- A06100473
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 彭政傑(Peng， Jeng-jie) 陳來福(Chen， Lai-fu) 黃俊才(Huang， Chun-tsai) 黃清吉(Huang， Ching-ji) 蘇秀雲(Su， Hsiu-yun)
- 主題與關鍵字：
- 可製造性設計 製程變異 晶片上可變異性 晶片間可變異性 導線互連 導線 接觸窗 金屬層介層窗 片電阻 寄生電容 時序延遲 Design for manufacturing DFM Process variation In-die variation Die-to-die variation Interconnect Metal line Contact hole Via plug Sheet resistance Parasitic capacitance Time delay
- 描述：
- 來源期刊:系統晶片
- 卷期:5 民95.10
- 頁次:頁137-144
- 日期：
- 20061000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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