新型半導體全氟化物廢氣電漿處理技術
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- 資料識別：
- A06099345
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳永枝(Chen， Yung-chih) 陳孝輝(Chen， Shiaw-huei)
- 主題與關鍵字：
- 半導體 全氟化物 溫室氣體 PFCs
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:28:2=154 民95.10
- 頁次:頁47-58
- 日期：
- 20061000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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