以反應性射頻磁控濺鍍法在PET基材上製備氮化鈦薄膜與特性分析
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- 資料識別：
- A06094222
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林明志(Lin， M. C.) 張立信(Chang， L. S.)
- 主題與關鍵字：
- 反應性磁控濺鍍 PET基材 氮化鈦薄膜 Reactive magnetron sputtering PET TiN
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:38:1 民95.03
- 頁次:頁56-60
- 日期：
- 20060300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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