鈮酸鋰複合晶圓延性製程技術開發
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- 資料識別：
- A06094201
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 吳嘉城(Wu， C. C.) 陳采寧(Chen， T. N.) 洪瑞華(Horng， R. H.) 何世賢(Ho， S. S.) 丁嘉仁(Ting， C. J.) 蔡宏營(Tsai， H. Y.) 武東星(Wuu， D. S.)
- 主題與關鍵字：
- 鈮酸鋰基板複合晶圓 晶圓貼合 化學機械研磨 Lithium niobate LiNbO[feb0] Hybrid substrate Wafer bonding Chemical mechanical polishing
- 描述：
- 來源期刊:材料科學與工程
- 卷期:38:1 民95.03
- 頁次:頁18-23
- 日期：
- 20060300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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