以氮化鋁作為MIS電容介電層之研製與特性分析
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A06093470
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 楊茹媛 葉祐名 翁敏航 薛漢鼎 蘇炎坤
- 主題與關鍵字：
- 高介電常數 氮化鋁薄膜
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:13:3 民95.08
- 頁次:頁34-40
- 日期：
- 20060800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
