類鑽薄膜對鑽石修整器表面磨耗腐蝕之研究
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- 資料識別：
- A06093272
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 譚安宏 鄭穎駿 李正國
- 主題與關鍵字：
- 磨耗 腐蝕 化學機械拋光 鑽石修整器 Wear Corrosion CMP Diamond conditioner
- 描述：
- 來源期刊:清雲學報
- 卷期:26:2 民95.09
- 頁次:頁31-37
- 日期：
- 20060900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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