浸潤式微影技術之發展現況--浸潤式微影技術之原理、設計概念、效能、挑戰與解決方案
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A06092391
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 邱燦賓 蕭志煒 謝政憲
- 主題與關鍵字：
- 浸潤式微影技術 積體電路 微影製程
- 描述：
- 來源期刊:電子月刊
- 卷期:12:9=134 民95.09
- 頁次:頁148-160
- 日期：
- 20060900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
