微陣列式熱致動器應用在微光學元件運動模式之探討
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- 資料識別：
- A06091757
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡健忠(Tsai， Chien-chung) 楊才賢(Yang， Tsa-hsien) 黃逸超(Huang， Yi-chao) 曾曜晨(Tsei， Yao-chen) 鄭伯庭(Cheng， Po-ting)
- 主題與關鍵字：
- 微機電 微陣列式熱致動器 微面鏡 微光學元件 MEMS Micro-array thermal actuator Micro mirror Micro optical devices
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:30 民93.11
- 頁次:頁137-147
- 日期：
- 20041100
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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