The Monomer Inlet Position Effect on the Fluorocarbon Film Deposited Using RF Plasma
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- 資料識別：
- A06091624
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 劉志宏(Liu， Chi-hung) 魏大欽(Wei， Ta-chin)
- 主題與關鍵字：
- Plasma polymerization Aromatic ring C□F□ F/C ratio Photoluminescence 電漿 化學氣相沉積法 氟碳膜
- 描述：
- 來源期刊:Journal of the Chinese Institute of Chemical Engineers
- 卷期:37:2 民95.03
- 頁次:頁169-176
- 日期：
- 20060300
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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