微機電系統製程之實作技術
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- 資料識別：
- A06089555
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 溫富亮(Wen， Fuh-liang) 羅玉林(Lo， Yu-lin) 賴明宏(Lai， Ming-hung)
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 微製造技術 微米元件 MEMS Micro manufacturing technology Micro devices
- 描述：
- 來源期刊:新埔學報
- 卷期:20 民92.09
- 頁次:頁250-261
- 日期：
- 20030900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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