面形微加工技術製造設計微結構懸臂樑、空橋、圓形薄膜空室
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- 資料識別：
- A06086097
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 林玉興(Lin， Yuh-shing) 蔡聲鴻(Tsai， Sheng-hong) 陳育堂(Chen， Yu-tang)
- 主題與關鍵字：
- 面形微加工技術 矽晶 懸臂樑 空橋 圓形薄膜空室 Surface micromachining Silicon wafer Cantilever beam Air bridge Circular diaphragm Chamber
- 描述：
- 來源期刊:新埔學報
- 卷期:19 民91.09
- 頁次:頁50-60
- 日期：
- 20020900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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