應用原子力顯微鏡製作奈米微影之加工技術
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- 資料識別：
- A06082093
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張瑞慶(Chang， R. C.) 莊晉東(Chuang， C. T.) 楊寶翔(Yang， P. H.)
- 主題與關鍵字：
- 奈米加工 原子力顯微鏡 微影技術 Nanoscale machining Atomic force microscope Lithography
- 描述：
- 來源期刊:聖約翰學報
- 卷期:22 民94.08
- 頁次:頁187-202
- 日期：
- 20050800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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