LIGA探針卡技術及產業應用
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- 資料識別：
- A06080971
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張復瑜 周敏傑 黃萌祺
- 主題與關鍵字：
- 探針卡 微機電技術 Probe card LIGA MEMS
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:282 民95.09
- 頁次:頁4-13
- 日期：
- 20060900
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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- 管理單位：知識服務組-期刊
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