多晶鑽石刨平器：拋光墊的精密修整及硬脆材料的延性切削
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- 資料識別：
- A06080822
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 宋健民
- 主題與關鍵字：
- 多晶鑽石刀具 化學機械拋光 延性切削 修整器 PCD planer CMP Ductile cutting Pad conditioner
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:278 民95.05
- 頁次:頁122-130
- 日期：
- 20060500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
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