用於次25奈米極紫外光曝光機之新穎反射型衰減式相位移光罩
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- 資料識別：
- A06007238
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳學禮(Chen， Hsuen-li) 鄭旭君(Cheng， Hsu-chun) 洪鶯玲(Hong， Ying-ling) 朱鐵吉(Chu， Tieh-chi)
- 主題與關鍵字：
- 相位移光罩 解析度增益技術 極紫外光微影術 EUV
- 描述：
- 來源期刊:科儀新知
- 卷期:27:2=148 民94.10
- 頁次:頁24-29
- 日期：
- 20051000
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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