具精細調整功能之微光學元件的運動模式探討
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- 資料識別：
- A06076494
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蔡健忠(Tsai， Chien-chung) 蔡尚哲(Tsai， Shang-che) 黃奕澄(Huang， Yi-cheng) 范振豪(Fan， Zhen-hao) 陳炳茂(Chen， Bing-mau)
- 主題與關鍵字：
- 微陣列式熱致動器 微面鏡 微光學元件 微調結構 Micro array thermal actuator MATA Micro mirror Micro optical devices Fine tuning structure
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:32 民95.08
- 頁次:頁169-181
- 日期：
- 20060800
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
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