微模具製程技術發展現況
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- 資料識別：
- A06074428
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 趙崇禮 馬廣仁 林宏彝
- 主題與關鍵字：
- 微模具 微透鏡陣列 精密機械加工 微影製程 抗沾粘膜 Micro-mold Micro-lens array Precision machining process Lithography related patterning processes Anti-stick coating
- 描述：
- 來源期刊:機械工業
- 卷期:279 民95.06
- 頁次:頁43-52
- 日期：
- 20060600
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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