資料採礦在晶圓廠內FDC系統之應用

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資料識別:
A06074108
資料類型:
期刊論文
著作者:
林資程 郭真伊 田昀宗 陳俊琦
主題與關鍵字:
資料採礦 晶圓廠 先進製程控制 故障偵測與分類 FDC Fault detection and classification
描述:
來源期刊:電機月刊
卷期:16:6=186 民95.06
頁次:頁184-193
日期:
20060600
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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