Applying Artificial Neural Network to Semiconductor Planarization Process Forecasting and Monitoring Functions
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- 資料識別：
- A06069354
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 田效文(Tien， Shiaw-wen) 謝家祥(Hsieh， Chia-hsiang) 鍾宜展(Chung， Yi-chan) 蔡志弘(Tsai， Chih-hung) 王志宏(Wang， Chih-hong)
- 主題與關鍵字：
- 半導體製程平坦化 類神經網路 Planarization process Artificial neural network
- 描述：
- 來源期刊:品質學報
- 卷期:12:4 民94.12
- 頁次:頁273-284
- 日期：
- 20051200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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