電漿源與電漿表面改質技術簡介
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- 資料識別：
- A06067094
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 馬寧元(Ma， N. Y.) 李新中(Lee， H. C.)
- 主題與關鍵字：
- 表面改質 電漿源 電漿植入 電漿濺射 射頻輝光放電 電子迴旋共振 真空電弧 電漿聚合 電暈放電 Surface modifications Plasma sources Plasma implantation Plasma sputtering Radio frequency glow discharge RF glow discharge Electron cyclotron resonance ECR Vacuum arc Plasma polymerization Corona discharge
- 描述：
- 來源期刊:工業材料
- 卷期:235 民95.07
- 頁次:頁172-180
- 日期：
- 20060700
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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