離子植入改質之CrN硬質薄膜在半導體封裝模具之應用研究[計畫編號：NSC-92-2216-E-451-003(2/2)]
推薦分享
資源連結
連結到原始資料 (您即將開啟新視窗離開本站)後設資料
- 資料識別：
- A06063771
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 汪大永 翁克偉
- 主題與關鍵字：
- 半導體 封裝模具 PVD鍍膜技術 離子植入技術 硬質薄膜 CrN
- 描述：
- 來源期刊:工程科技通訊
- 卷期:85 民95.04
- 頁次:頁21-24
- 日期：
- 20060400
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
授權聯絡窗口
- 管理單位：知識服務組-期刊
聯絡E-mail：nclper@ncl.edu.tw
電話：02-23619132轉305
