Sensitivity Analysis of MEMS Force Sensor Beam on the Test Chip

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資料識別:
A06058913
資料類型:
期刊論文
著作者:
張豐宜(Chang, Feng-i)
主題與關鍵字:
微機電系統 敏感性 力感測樑 晶片 MEMS Sensitivtiy Force sensor beam Chip
描述:
來源期刊:中正嶺學報
卷期:34:2(A) 民95.05
頁次:頁261-269
日期:
20060500
來源:
臺灣期刊論文索引系統
管理權:
國家圖書館

授權聯絡窗口

管理單位:知識服務組-期刊
聯絡E-mail:nclper@ncl.edu.tw
電話:02-23619132轉305

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