Sensitivity Analysis of MEMS Force Sensor Beam on the Test Chip
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- 資料識別：
- A06058913
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 張豐宜(Chang， Feng-i)
- 主題與關鍵字：
- 微機電系統 敏感性 力感測樑 晶片 MEMS Sensitivtiy Force sensor beam Chip
- 描述：
- 來源期刊:中正嶺學報
- 卷期:34:2(A) 民95.05
- 頁次:頁261-269
- 日期：
- 20060500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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