Investigation of Material Removal Mechanisms Involved in ICP Etching of InGaN/GaN
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- 資料識別：
- A06058907
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 趙崇禮(Chao， Choung-lii) 周文成(Chou， Wen-chen) 石正宜(Shih， Cheng-yi) 馬廣仁(Ma， Kung-jeng) 陳大同(Chen， Ta-tung)
- 主題與關鍵字：
- 感應耦合電漿蝕刻 材料移除機制 ICP etching InGaN/GaN Material removal mechanisms
- 描述：
- 來源期刊:中正嶺學報
- 卷期:34:2(A) 民95.05
- 頁次:頁185-190
- 日期：
- 20060500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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