新型三維結構表面加工技術
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- 資料識別：
- A06058425
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 蘇旺申 李昇達 方維倫 蔡明蒔
- 主題與關鍵字：
- 三維結構 表面加工 微機電系統
- 描述：
- 來源期刊:奈米通訊
- 卷期:13:2 民95.05
- 頁次:頁18-24
- 日期：
- 20060500
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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