Electrostatic Charging Damage on the Characteristics and Reliability of Poly-Si TFT during Plasma Hydrogenation
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- 資料識別：
- A06051711
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟文(Chen， Chii-wen) 吳明瑞(Wu， Ming-ray)
- 主題與關鍵字：
- 電漿氫化 薄膜電晶體 靜電充電危害 複晶矽 缺陷狀態 Plasma hydrogenation TFT Electrostatic charging damage Polysilicon Trap state
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:23 民88.12
- 頁次:頁127-131
- 日期：
- 19991200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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