Improvement on the Stability of High-Resistivity Poly-Silicon Resistors in Deep Sub-um Technology with Metal/Poly-Si Guard Panel
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- 資料識別：
- A06051229
- 資料類型：
- 期刊論文
- 著作者：
- 陳啟文 鍾啟仁 吳明瑞
- 主題與關鍵字：
- 複晶矽 電阻對電壓係數 Polysilicon VCR
- 描述：
- 來源期刊:明新學報
- 卷期:25 民89.12
- 頁次:頁29-33
- 日期：
- 20001200
- 來源：
- 臺灣期刊論文索引系統
- 管理權：
- 國家圖書館
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